中國半導體制造設備的“星火”能否“燎原”？

中國電子專用設備工業協會的資料顯示，2004年中國半導體設備（不含外資在華組裝企業）銷售額為4.23億元人民幣。SEMI China對2004年中國半導體設備采購額的統計是約224億元人民幣。4.23億元的銷售額、大約1/50的自供能力，使得我們目前對中國半導體設備還很難用“產業”來稱呼。
　　但中國半導體設備這個“星火”比2003年增長了67%，2005年更是看到了產業化的希望。據中科院微電子所副所長兼EDA中心主任葉甜春，在近日由浙江省半導體行業協會主辦的“長三角半導體行業協會聯誼會”上介紹，北京北方微電子基地公司研制的100nm刻蝕機、北京中科信公司研制的注入機已在SMIC天津廠進行工藝核驗，上海微電子裝備公司100nm光刻機今年底開始整機組裝、2006年完成樣機調試。
　　盡管國產半導體設備的技術研發已有局部突破，在快速熱處理設備、塑封機、單晶爐、拋光機等部分產品上已用于國內部分6英寸生產線中，但主流大規模生產線基本上被國際半導體制造設備供應商壟斷也是個長期存在的事實。
　　2005年4月，在位于金橋出口加工區的上海半導體裝備產業基地和上海半導體裝備產業發展中心揭牌儀式上，上海市經委副主任王堅表示：“到2010年，上海將爭取成為世界級的半導體產業基地，引領我國成為繼美國、日本后的世界第三大半導體裝備制造大國。”據上海集成電路行業協會副秘書長薛自介紹，上海市政府已出資3000萬元啟動上海半導體裝備產業基地的建設，但目前要想進入國內晶圓生產線仍然是件困難的事。
　　“一代裝備、一代工藝、一代產品”，這是半導體制造業的定律。但動輒2000萬美元的光刻機、800萬美元的PVD、500萬美元的刻蝕機等關鍵設備，已使12英寸建線資金上升到20～30億美元。據TEL中國總裁陳捷介紹，2004年國際市場300mm設備已超200mm，2005年300mm設備將會有70～80%增長。陳捷認為，半導體設備供應商要有提供高性能、低成本的新設備能力才有業務增長的可能。葉甜春也表示，低成本解決方案是全球半導體制造業的出路所在。
　　以低價將國產設備切入到生產線中，似乎為中國半導體設備業者帶來一線希望。中科院微電子所研究員王守國表示，“如果說要花1500萬美元買臺進口設備的話，那我們能賣到150萬美元就相當滿意了。”但在目前的中國市場中，低價并不是中國本土公司特有的，TEL目前已在中國通過設備的用材及保修期方面采取靈活策略提供高性能、低成本的新設備，以期吸引中國的二手設備用戶。
　　但晶圓制造商們在采購設備時，價格高低似乎并不是唯一考慮因素。陳捷表示，設備供應商正在承擔更多的技術研發任務，以適應更多的下游用戶要求上游廠家提供更廣泛的服務，目前晶圓制造工藝技術很多都需設備供應商提供。這就是問題的所在：中國制造商持續的新設備開發能力及相適應的配套服務能力，目前還無法讓其下游廠家放心。
　　不過在此點上，中國設備廠商與二手設備提供商面臨著同樣的宿命。盡管二手設備有著先期生產線成功運行案例，只要具有經驗豐富的Fab人才，也會將舊設備的維修費用降下來，但二手設備對技術工藝選擇窗口畢竟太小，后續升級設備也得不到保證。而用戶最擔心的供應商倒閉風險，二手設備提供商甚至比中國本土設備廠商更大。在此前提下，中國本土設備廠商的低價策略就有了誘惑力。如果以國際領先供應商1/10的價格來界定中國本土供應商的售價，那么中國目前充滿活力的二手設備市場，可能離門庭羅雀不遠了。
　　在蠶食二手設備市場的同時，積極尋求成為國際大廠配套服務商伺機進入主流市場，也應是中國半導體設備業者的一個選項。陳捷表示，其實進入主流市場并不是技術問題，TEL目前在中國有15～20%銷售收入來自服務，因為培育客戶很重要。而從日本半導體設備業發展歷程來看，正是當初甘為美國廠商做配套服務的定位起到了相當關鍵的作用。
　　美國、日本半導體制造設備業，因為有了巨大的本地市場需求支撐，所以很強大。韓國、臺灣，沒有足夠的本地市場依靠，所以難成氣候。中國大陸，已有潛力龐大的本地市場可依托，所以現在的“星火”就有了“燎原”的可能，盡管目前燎原之勢還不清晰可見。